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微机电系统(MEMS)动态测试

芯片/电力半导体器件/半导体薄膜/MEMS的零部件/电子器件和供电内部连接件/MEMS加速度传感器模子的振动模态及结构优化。

电力半导体器件振动测试


半导体薄膜振动测试


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